Погрешность измерения длины: | MPE_E150 | от 3,3 + L/230 мкм |
Погрешность сканирования отдельного щупа: | MPE_PFTU | от 3,0 мкм |
Погрешность сканирования щупом: | MPE_THP/tau | от 3,5 мкм / 70 с |
Погрешность измерения формы: | MPE RONt | от 4,0 мкм |
Страна производства: Германия