Погрешность измерения длины: | MPE_E150 | от 2,2 + L/400 мкм |
Погрешность сканирования отдельного щупа: | MPE_PFTU | от 2,0 мкм |
Погрешность сканирования щупом: | MPE_THP/tau | от 2,8 мкм / 62 с |
Погрешность измерения формы: | MPE RONt | от 2,0 мкм |
Страна производства: Германия